? ? ?X射線熒光分析儀，可分為波長色散型?（WDXRF）熒光光譜儀和能量色散型??（EDXRF）熒光光譜儀是同屬一種，于產(chǎn)生信號的方法相同，最后得到的波譜也極為相似，但由于采集數(shù)據(jù)的方式不同，WDXRF和EDXRF的原理和儀器結(jié)構(gòu)上有所不同，功能也有區(qū)別：
一、原理區(qū)別
? ? ? X射線熒光光譜法，使用X射線管發(fā)出的初級線束輻照樣品，激發(fā)各化學(xué)元素發(fā)出二次譜線。
? ? ? WDXRF是用分光晶體將熒光光束色散后，測定各種元素的特征X射線波長和強(qiáng)度，從而測定各種元素的含量。
? ?EDXRF是借高分辨率敏感半導(dǎo)體檢查儀器與多道分析器將未色散的X射線熒光按光子能量分離X射線光譜線，根據(jù)各元素能量的高低來測定各元素的量，由于原理的不同，所以他們的儀器結(jié)構(gòu)也不同。
EDX臺式X熒光光譜儀
二、結(jié)構(gòu)區(qū)別
? ? ? WDXRF，一般由光源（X射線管），樣品室，分光晶體和檢測系統(tǒng)等組成。為了準(zhǔn)確測量衍射光束與入射光束的夾角，分光晶體系安裝在一個精密的測角儀上，還需要一龐大而精密并復(fù)雜的機(jī)械運(yùn)動裝置。由于晶體的衍射，造成強(qiáng)度的損失，要求作為光源的X射線管的功率要打，一般為2—3千瓦，單X射線管的效率極低，只有1%的功率轉(zhuǎn)化為X射線輻射功率，大部分電能均轉(zhuǎn)化而產(chǎn)生高溫，所以X射線管需要專門的冷卻裝置（水冷或油冷），因此WDXRF的價格往往比EDXRF高。
? ? ? EDXRF，一般由光源（X射線管），樣品室，各檢測系統(tǒng)等組成，比WDXRF少了一個分光晶體，由于這一特點(diǎn)，使EDXRF具有如下的特點(diǎn)：
1、儀器結(jié)構(gòu)簡單，省略了浸提的精密運(yùn)動裝置，也無需精確調(diào)整。還避免了晶體衍射所造成的前度損失，光源使用的X射線管功率低，一般在100W以下，不需要昂貴的高壓發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)，空氣冷卻即可，節(jié)省電力。
2、EDXRF的光源，樣品，檢測器彼此靠的近，X射線的利用率很高，不需要光學(xué)聚集，在累計(jì)整個光譜時，對樣品位置變化不像WDXRF那樣敏感，對樣品形狀也無特殊要求。
3、在能量色散光譜儀中，樣品發(fā)出的全部特征X射線光子同時進(jìn)入檢測器，這樣奠定了使用多道分析器和熒光同時累計(jì)和實(shí)現(xiàn)全部能譜（包括背景）的基礎(chǔ)，也能清楚地表明背景和干擾線。因此，半導(dǎo)體檢測器X射線光譜儀比晶體X射線光譜儀快而方便地完成定性分析工作。
4、EDXRF減少了化學(xué)狀態(tài)引起的分析線波長的飄移影響。由于同時累積還減少了儀器的漂移影響，提高了凈計(jì)算的統(tǒng)計(jì)精度，可迅速而方便地用各種方法處理光譜。同時累積觀察和測量所有元素，而不是按特定譜線分析特定元素。因此，減少偶然錯誤判斷某元素的可能性。
EDX手持式X熒光光譜儀
三、功能區(qū)別
? ?考慮到各種情況，EDXRF和WDXRF的檢測限基本相同。
? ?但在（高能光子）范圍內(nèi)能量色散的分辨率好些，在長波（低能光子）范圍內(nèi)，波長色散的分辨率好些。
? ?就定性分析而言，在分析多種元素時能量色散優(yōu)于單道晶體譜儀，就測量個別分析元素而言，波長色散好些。
? ?如果分析的元素事先不知道，用能量色散較好，而分析元素已知則用多道晶體色散儀好，對易受放射性損傷的樣品，如果液體，有機(jī)物（可能發(fā)生輻射分解），玻璃品，工藝品（可能發(fā)生褪色）等，用WDXRF分析特別有利。
? ? ? WDXRF很適合動態(tài)系統(tǒng)的研究。如在催化，腐蝕，老化，磨損，改性和能量轉(zhuǎn)換等于表面化學(xué)過程有關(guān)的研究。
? ? ? 總之，EDXRFX熒光光譜儀和WDXRFX熒光光譜儀兩種儀器，各有所有點(diǎn)和不足，它們只能互補(bǔ)，而不能替代。
